特長

フィルタは、両面を不織布とラス網で保護され、アルミフレームに入った構造となっています。

種類

名称	主な除去対象物質
PureACT-K	アセトン、トルエン、シロキサン、フタル酸エステル等の有機物
PureACT-N	アンモニア、有機アミン等のアルカリ、NMP
PureACT-H	塩酸、硝酸、亜硫酸ガス等の酸性物質、オゾン、ボロン

PureACT-3N

最先端の半導体製造装置のアンモニア、有機アミン、NMP吸着用に開発した高性能、高寿命を有しているケミカルメディアで、半導体製造装置のほか高度な環境が要求されるクリーンブースやストッカー等の環境制御に適しています。

圧力損失

性能例

PureACT－Kの有機物

製品型式

用途

HEPAフィルタやULPAフィルタとの併用で、FFU（フィルタファンユニット）への搭載に適しています。特に、高い清浄度が要求されるクリーンルーム、クリーンブース、ミニエンバイラメントでの使用に最適です。

除去対象の異なるピュアアクトや、他のフィルタメディアとの組み合わせで、多種類の汚染物質を一度に除去するクリアラントフィルタとしても使用できます。

仕様等は製品改良のため予告なく変更される事があります。可燃性の素材を含んでいますので法規制を受ける場合はご注意ください。設計や使用に際しては、弊社の担当までお問い合わせください。結露する場所や水が飛散する場所では使用しないでください。本資料データ等の全部または一部の無断転載を禁止します。

関連リンク

• クリーンソーブII CAW・CH

カタログダウンロード

• ピュアアクト　カタログ（PDF 348KB）