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クリーンルーム
大気中に含まれる微量の亜硫酸ガス、窒素酸化物、硫化水素、アンモニアガスなどの汚染ガスも、高濃度でなければ人体には特に影響はありません。しかし最近の半導体クリーンルームでは、汚染ガスがシリコンウエハなどに付着すると、表面に曇りがでたり、あるいはフォトリソ工程でT-トップ現象が起きたり、不良品の原因となります。ガス状物質は超高性能エアフィルタ(ULPA)も通過してしまい、極低濃度のガスは活性炭でも吸着は困難ですが、化学反応を伴うピュアライトは、外調機での吸気処理は元より、クリーンルームの循環処理などに多く採用され、清浄空気を提供しています。pptレベルなど特に低いガス濃度が求められる場合は、ピュアライトと同時にクリンソーブIIフィルタや、ピュアフォームなど新型の極低濃度用ケミカルフィルタを、クリーンルーム内のFFU上部に増設するなどにより、色々な要求レベルに対応可能です。
装置用
半導体製造装置、ストッカー内に汚染物質の進入を防ぎます。
| 製品写真 | 製品名 | 紹介文 |
|---|---|---|
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ピュアアクト | ハニカム構造ケミカルフィルタ |
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ピュアフォーム | 不織布状ケミカルフィルタ |
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クリアラントフィルタ | 複合メディア型ケミカルフィルタ |
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クリーンソーブII CH | 繊維状活性炭ケミカルフィルタ |
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クリーンソーブII CAW | 高性能有機化合物吸着用ケミカルフィルタ |
空調機用(外気・循環用)
空調機の中、クリーンルームの床下、リターンシャフト等に設置するケミカルフィルタです。
| 製品写真 | 製品名 | 紹介文 |
|---|---|---|
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ピュアライト | ペレット型化学吸着剤 |
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ピュアライトフィルタ PF | 空調機内蔵型ケミカルフィルタ |
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ピュアライトフィルタ PY | ダクト接続型ケミカルフィルタ |
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ピュアモールド | 成型ケミカルフィルタ |
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ピュアゲート | 活性炭シートケミカルフィルタ |
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クリーンソーブII CM | 繊維状活性炭ケミカルフィルタ |
FFU用
FFUに搭載するケミカルフィルタです。
| 製品写真 | 製品名 | 紹介文 |
|---|---|---|
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ピュアアクト | ハニカム構造ケミカルフィルタ |
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ピュアフォーム | 不織布状ケミカルフィルタ |
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クリアラントフィルタ | 複合メディア型ケミカルフィルタ |
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クリーンソーブII CH | 繊維状活性炭ケミカルフィルタ |
排気用
空調機の中、クリーンルームの床下、リターンシャフト等に設置するケミカルフィルタです。
| 製品写真 | 製品名 | 紹介文 |
|---|---|---|
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ピュアライト | ペレット型化学吸着剤 |
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ピュアライトフィルタ PF | 空調機内蔵型ケミカルフィルタ |
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ピュアライトフィルタ PY | ダクト接続型ケミカルフィルタ |
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ピュアモールド | 成型ケミカルフィルタ |
仕様等は製品改良のため予告なく変更される事があります。可燃性の素材が含まれますので法規制を受ける場合はご注意下さい。結露する場所や水が飛散する場所では使用しないで下さい。設計や使用に際しては弊社の担当までお問い合わせ下さい。